绿光森林

IT之家 8 月 23 日消息，据外媒 insideevs 当地时间 22 日报道，LG 新能源（LGES）认为，固态电池在大规模进入汽车市场前，可能会先在智能手机、无人机等非汽车领域实现商业化。

二 |     　　当地时间8月23日，半导体行业研究机构SemiAnalysis发文称，NAND闪存制造正从钨转向钼，因为当NAND来到300层以上，钼是必选项。　　SemiAnalysis分析，3D NAND闪存堆叠层数突破300层后，钨字线在电阻、化学兼容性和深孔填充三方面均触及物理极限，钼成为强制替代材料。

三 | LGES 指出，虽然当前人们认为固态电池能够带来更长续航、更高安全性和更快充电速度，但最大的挑战仍然是大规模量产。LGES 北美总裁罗伯特 · 李指出，大规模制造是固态电池商业化面临的主要障碍：“固态电池的问题在于大规模生产。三星已于2024年量产，美光2025年跟进，SK海力士计划2026年底推出375层钼工艺产品。其估计，钼在NAND总产能中的占比将从2025年的中个位数百分比，增长至2027年的约30%。如果制造小尺寸电池，应该能够实现。但如果需要制造非常大的电池，大多数企业仍然面临困难。”他认为，智能手机等小型设备可能会比汽车更早采用固态电池。　　更进一步的，该机构提出，钼沉积设备将在明年迎来超10亿美元的新增市场。　　该机构称，每一次从钨到钼的转换，都意味着需要新的沉积设备。SemiAnalysis估计，仅2027年一年，NAND钼沉积设备的销售额就将超过10亿美元，并随着DRAM和逻辑芯片的跟进，到2030年增长至约20亿美元/年。“在智能手机中看到这项技术，可能要比在汽车中看到它早大约 10 年。

四 | 　　受益格局方面，Lam Research（泛林集团）最先获益，TEL（东京电子）紧随其后；AMAT（应用材料）、ASMI（ASM国际）及Naura（北方华创）则更多受益于后续DRAM和逻辑芯片的转型浪潮。在将其应用于汽车甚至储能系统之前，我预计它会首先进入一些特定应用场景。

五 | ”具体来看，“早期应用”有望包括智能手机、无人机以及高性能汽车。据IT之家了解，去年，梅赛德斯-奔驰搭载 Factorial Energy 半固态电池的原型 EQS 轿车实现单次充电行驶接近 1207 公里。宝马 i7 原型车也用上了 Solid Power 提供的全固态电池，Stellantis 也开始测试搭载半固态电池包的道奇 Charger Daytona 汽车。中国企业推进固态电池的速度更快。

六 | SemiAnalysis表示，完整的细分市场层面测算已纳入其前道设备（WFE）模型。　　钼渗透率在高层数NAND中提升，本质是为延续NAND单位Bit成本下降曲线。　　300层NAND主要在结构上升级，聚焦超高深宽比通道孔刻蚀、多次Stack堆叠、晶圆翘曲控制以及Overlay精度控制。　　375层乃至400层以后，材料亟需升级，因钨字线会因为字线间距通道孔缩小面临RC延迟快速恶化、WF残氟导致介质损伤、漏电失效率提升以及填充缺陷放大的问题。而钼凭借更低电阻率、无氟前驱体及无需阻隔层等优势，有望改善RC性能与器件可靠性，为字线和存储孔缩放提供工艺余量，从而延续高层数NAND的成本下降曲线。比亚迪、宁德时代、吉利等企业正在展开竞争，计划于 2027 年启动试点，并在本世纪 20 年代末推动更广泛应用。　　中银证券表示，SK海力士已完成375层3D NAND生产验证并计划2026年底量产，拟采用钼材料替代钨制作字线，继三星在286层第九代3D NAND中率先导入钼工艺后，两大存储龙头相继切换，钼替代钨趋势确立。　　然而，钼的材料加工更为复杂，因为必须以气体形式输送，且前驱物在室温下为固体，需要加热器以确保流动稳定性。

七 | 　　基于此，300层以上3D NAND字线由钨切换为钼，并不是简单更换靶材或者更换气体材料，而是前驱体供给、ALD沉积腔体、刻蚀、清洗、尾气处理整套工艺链条的重构，原有钨CVD产线硬件无法直接复用，将直接推动晶圆厂资本开支上行，同时设备、特种材料、零部件均迎来变化。　　爱建证券表示，钼导入本质是一次全流程工艺重构，设备链受益有望沿“沉积及前驱体输送→CMP及清洗→刻蚀→量检测”路径传导，工艺难点由沉积向后处理环节延伸。其中——　　沉积：成熟的WF钨工艺，Mo沉积需重新建立高深宽比结构下的填充与缺陷控制工艺窗口，同时有望减少阻隔层使用，带动沉积设备及配套工艺升级；　　输送：Mo前驱体通常采用低挥发性固态源，与传统WF气态前驱体体系差异较大，需要新增气化装置、温控管路及精密供气系统，以保障前驱体稳定输送；　　CMP：Mo材料的氧化及表面化学特性不同于传统金属体系，需重新开发CMP研磨液和研磨垫，以满足平坦化、去除速率及缺陷控制要求；　　清洗：Mo导入后残留物及氧化物体系发生变化，高深宽比结构下金属残留和污染控制难度提升，有望推动相关湿法清洗设备及配套化学品验证导入；　　刻蚀环节则需重新建立适配钼材料的工艺窗口，且3DNAND层数持续提升下，刻蚀选择性、侧壁形貌控制及层间均匀性要求进一步提高，有望带动相关刻蚀设备升级需求；　　量检测：Mo量产还需新增膜厚均匀性、填充缺陷、金属残留及电学可靠性等监控项目，有望带动薄膜量测、缺陷检测及电性测试等设备需求增长。

八 | 　　该机构称，NAND工艺迭代核心从单纯堆叠层数转向材料—设备—工艺协同创新，新材料导入将持续催生沉积、刻蚀、清洗等关键设备迭代升级，Mo字线导入将推动沉积、刻蚀、清洗等关键环节工艺升级，相关设备及零部件厂商有望受益。

九 | 不过，LGES 认为，现有锂离子电池技术仍将继续推动汽车续航和充电能力提升。目前，LGES 正在与通用汽车合作开发富锂锰（LMR）电池。（文章来源：科创板日报）。这种电池将减少镍和钴的使用，更多依赖锰。由于镍和钴价格较高，且开采过程存在环境影响，LMR 电池有望降低成本。此外，除固态电池和 LMR 电池外，LGES 也在推进更先进的锂离子电池、钠离子电池等下一代技术。

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